

تم تصميم صفائح TPU الرغوية الماديا الخاصة بنا لتلبية المتطلبات الصعبة لعمليات الاستواء الميكانيكي الكيميائي (CMP) في صناعة أشباه الموصلات. مع بنية خلوية دقيقة وموحدة وخصائص ضغط قابلة للتخصيص ، تعتبر هذه الألواح الرغوية مثالية للاستخدام كمنصات فرعية أو طبقات توسيد أسفل وسادات التلميع.
دلائل الميزات:
-
✅ قابلية انضغاط ومرونة ممتازة
يوفر توزيعا موحدا للضغط واتصالا ثابتا للسطح أثناء تلميع الرقاقة. -
✅ هيكل الخلية الدقيقة
يضمن عيوب السطح المنخفضة وأداء تلميع مستقر. -
✅ المقاومة الكيميائية
يقاوم ملاط CMP وعوامل التنظيف ، مما يحافظ على المتانة على المدى الطويل. -
✅ استقرار الأبعاد
يحافظ على التسطيح وتوحيد السماكة تحت الضغط الحراري والميكانيكي. -
✅ صلابة وسمك قابل للتخصيص
مصممة لتلبية احتياجات المعدات والعمليات المحددة.
التطبيقات النموذجية:
-
اللوحة الفرعية لأنظمة تلميع الرقاقة CMP
-
طبقة وسادة لزجاج LCD أو تلميع العدسة البصرية
-
طبقة عازلة في إنشاءات وسادة CMP متعددة الطبقات
متوفرة بكثافة وسماكات ومستويات صلابة مختلفة ، توفر صفائح الرغوة TPU الخاصة بنا أداء متسقا وعالي الدقة لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.